Диапазон толщины среза
|
0.5 мкм – 100 мкм
|
Установка толщины среза
|
От 0.5 до 2 мкм в мкм с шагом 0.5 мкм
|
От 2 до 20 мкм с шагом 1.0 мкм
|
От 20 до 50 мкм с шагом 2.0 мкм
|
От 50 до 100 мкм с шагом 5.0 мкм
|
Программируемый тримминг
|
0.5 мкм – 300 мкм
|
Горизонтальная моторизованная подача
|
28 мм Шаг перемещения 75/150/300/600 Скорость 3000 мкм/с
|
Программируемые положения горизонтальной подачи
|
2 позиции
|
Вертикальное перемещение образца
|
60 мм
|
Программируемая ретракция
|
Автоматическая, 0 – 200 мкм
|
Горизонтальная ориентация образца
|
8°
|
Вертикальная ориентация образца
|
8°
|
Ориентация образца по оси Z
|
360°
|